永光化學獨創光阻劑配方，靈活跳脫日本大軍搶單潮

「光阻劑」是縮短曝光波長必備的電子化學品之一，尤以日本大廠競爭最激烈，而永光化學發揮優勢滿足客戶需求，成IC製程全台唯一G＆I-Line光阻劑供應商。

喜歡喝調酒嗎？對饕客來說，調酒最大魅力莫過於高度客製化，打造專屬於你的飲品。在半導體產業中，優秀的化學品業者就像是調酒師，不斷研發、測試，同時考量顧客製程條件、設備差異等因素，最終端出實際用於IC產業鏈的產品配方。

永光化學，正是台灣少數能提供IC前（製造）、後段（封裝測試）製程化學品的好手。

創立於1970年代，永光化學早期業務以紡織、皮革染料為核心，逐步發展出特用化學品（如抗氧化劑、紫外線吸收劑）、醫藥化學（如前列腺素原料藥）與電子化學品事業。

從營運面來看，永光化學2019年合併營收93.3億元，電子化學品約貢獻12％，數字不算高，產品線卻相當多元，可提供IC、LCD（液晶顯示器）、LED（發光二極體）、TP（觸控式面板）產業所需的光阻劑、顯影液、研磨液及濕式製程化學品。

其中，光阻劑是永光化學投入20年努力研發的關鍵產品。

經濟部技術處指出，由於半導體需求朝微型化、多樣化發展，製程端為使IC電路有更高密度布局，以減小產品體積，必須不斷縮短曝光波長來提高解析度；光阻劑即是微影製程中最重要角色之一。

簡單說，IC生產製程無論先進與否，都要經過曝光，過程中要先在晶圓上塗抹不同特性的光阻劑，才能透過光源照射，讓電路圖形成於晶圓表面，概念上有點接近於「拓印」。

「我會形容自己是一間配方公司。」

永光化學總經理陳偉望笑說，自家電子化學品出貨量不拚廣，專注於核心技術開發，甚至有獨創的利基型產品。

此外，永光也開始將重心拓展到IC封裝業者與新一代材料碳化矽（SiC）、氮化鎵（GaN）帶來的功率半導體商機上。

永光化學總經理陳偉望說，半導體發展史隨每一世代改變，領頭化學公司幾乎不同，現有優勢並不能保證持續領先。侯俊偉攝影

 掌握產業脈動、打出利基戰略，客製服務不能少

市調機構富士經濟（Fuji Keizai）指出，2019～2024年間，光阻劑市場將成長60％，規模達2,500億日圓，其中八成市占率掌握在日本業者手中。

永光化學電化事業副總經理林昭文解釋，製造光阻劑至少需要過三關：第一，要了解客戶晶圓設計方式，從尺寸4吋、6吋、8吋，到晶圓厚度多寡、乾燥方式都有影響；第二，要了解曝光系統，長期測試後才知道光阻劑是否有效顯影，並呈現顧客要求的形狀；第三，要克服製程差異化，例如電鍍、離子植入，都會對化學反應帶來影響。

對永光而言，第二點是眼前最大的考驗，因為要做到這點，光阻劑業者必須購買要價不斐的設備。

工研院產科國際所指出，曝光光源可區分為紫外線（UV）、深紫外線（Deep UV；DUV）和極紫外線（Extreme UV；EUV）。生產7奈米或更先進製程產品，不只需要EUV光刻機，還需搭配EUV專屬光阻劑。

紫外光（UV）光源因波長短，除了用在螢光、食物殺菌和偽鈔辨識等日常應用之外，也是半導體製程的重要元素之一。圖片為紫外光燈下裝水的玻璃杯。圖片來源：wikimedia

在台積電2019年報列出的光阻劑供應商們，有3家已經或正計畫投入最高階EUV光阻劑供應，皆為日本業者，包括領導品牌東京應化工業、信越化學（打算來台生產）及住友化學（預計明年投入開發）。

面對日本化學大廠技術領先、甚至積極來台設廠搶單，陳偉望坦言，永光即使全力投入EUV領域，都不見得可獲得客戶青睞，「光是曝光機就要新台幣30億元，更何況日本業者投入早，無論設備攤提、配方測試都已經跑在前頭。」

因此，永光另闢蹊徑，持續耕耘成熟IC製程的同時，也以更靈活、多元方式與業者合作。例如，指標客戶為維持競爭力，會自行研發專利化學品配方，交由永光代工生產；或客戶規畫好下一代製程設計時，由永光與設備業者共同測試化學品規格。

以產品技術面來說，封裝無需追求微影解析度變好，而是要配合終端產品屬性，提供多樣變化，這是我們強項。

永光化學總經理陳偉望

面對中美科技冷戰，陳偉望認為，相較半導體前端製程業者已經意識到地緣政治的脆弱、在地供應鏈非做不可，後端業者還在觀望。

儘管現階段的產業氛圍，還是比較信賴掌握原料的外商，他相信化學品台廠只要能提供高度客製化的服務、彈性調度產能，重要性就會與日俱增。「畢竟國門是可能會關起來的，若兩個總統一言不合，對方說不賣你就不賣你，又該怎麼辦？」

永光化學

成立時間：1972年
董事長：陳建信
總經理：陳偉望
近期財報：2020年第3季營收18.6億元，年減20.3％
關鍵技術：I-LINE、G-LINE正負型光阻；高膜厚、高解析的化學增幅型光阻；高精密感光顯影型材料——感光聚醯亞胺（PSPI）。

本文出自數位時代319期12月號《解析台灣半導體奇蹟！》封面故事